AM: 一种制备无串扰、高分辨率压力传感器阵列的新技术

Natt

2022-04-05

同时实现高空间分辨率和低串扰干扰一直是柔性压力传感器阵列的基本挑战。鉴于此，香港中文大学Ni Zhao、Yan Huang和广东工业大学陈云等人展示了一种通过两步激光制造工艺制造的高分辨率柔性压力传感器阵列，其中各个传感像素及其互连通过激光诱导的石墨化和烧蚀依次定义，以最大限度地减少串扰干扰。

本文要点：

1）通过理论建模和实验验证优化了互连的几何形状。表征结果表明，新器件设计显著降低了 0.7 mm 分辨率传感器阵列的串扰系数，从-8.21 dB 降至 -43.63 dB，并且串扰抑制对于涉及软表面（例如人类皮肤和器官）压力传感的应用场景尤其有利。

2）此外，研究还展示了传感器阵列在触觉模式识别和微创癌症手术中的应用。

参考文献：

Li, Y., et al. (2022), Crosstalk-free, high-resolution pressure sensor arrays enabled by high-throughput laser manufacturing. Adv. Mater.. Accepted Author Manuscript 2200517.

https://doi.org/10.1002/adma.202200517