Adv. Mater.：用于电子应用的无定形碳膜

湘湘

2022-11-22

虽然包括石墨烯在内的各种结晶碳同素异形体已经被积极研究，但是无定形碳(a-C)薄膜受到的关注相对较少。a-C是碳键的无序形式，具有宽范围的C-C键长和键角。尽管精确的结构分析和理论方法仍然不足，但可重复的结构-性质关系已经积累。随着a-C薄膜现在被用作半导体工业中的硬掩模，并且不断报道新的性能，期望它除了作为简单的牺牲层之外，还可以实际用作活性材料。

浦项科技大学Unyong Jeong和Kyung-Eun Byun等简要介绍了非晶碳薄膜的合成和性质。

本文要点：

（1）

作者简要介绍了非晶碳薄膜的合成和改性。同时，作者综述了非晶碳薄膜的机械、电学和电化学性能，并对性能调节进行了总结。作者提出了a-C薄膜作为硬掩模、EUV薄膜、扩散阻挡层、可变形电极和互连、传感器、活性层、能量电极、微型超级电容器、电池、纳米发电机、电磁干扰(EMI)屏蔽和纳米膜的潜在实际应用。

（2）

本文最后展望了非晶碳薄膜实际应用的前景和技术方向。

参考文献:

Kim, I.-S., Shim, C.-E., Kim, S. W., Lee, C.-S., Kwon, J., Byun, K.-E., Jeong, U., Amorphous Carbon Films for Electronic Applications. Adv. Mater. 2022, 2204912.

DOI: 10.1002/adma.202204912

https://doi.org/10.1002/adma.202204912